半导体清洗设备龙头 控股股东为美国NASDAQ上市公司 盛美股份闯关科创板

    6月1日晚间，上交所网站显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（简称“盛美股份”）科创板上市申请获得受理。招股书显示，公司本次发行A股股票上市后，将与公司控股股东美国ACMR分别在上交所科创板和美国NASDAQ股票市场挂牌上市。

    盛美股份主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。本次闯关科创板，公司拟募资18亿元用于盛美半导体设备研发与制造中心、盛美半导体高端半导体设备研发项目、补充流动资金。

    专注半导体专用设备

    招股书显示，公司通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，向全球晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案。

    据介绍，盛美股份已经成为中国内地少数具有一定国际竞争力的半导体专用设备提供商。公司前五大客户尤为亮眼，分别为长江存储、华虹集团、海力士、长电科技和中芯国际。财务数据显示，2017年至2019年（简称“报告期”），盛美股份营收分别为2.54亿元、5.50亿元、7.57亿元，归母净利润分别为1086.06万元、9253.04万元、1.35亿元。

    盛美股份表示，报告期内，公司单片清洗设备收入占比较高且增长较快，为公司的主要收入来源。此外，公司前道刷洗设备、无应力抛光设备和立式炉管设备均已成功研发了首台设备，并顺利进入客户端验证；报告期内，尚未实现销售收入。

    值得注意的是，盛美股份所在的半导体清洗设备领域，市场集中度较高，尤其在单片清洗设备领域。目前，DNS、TEL、LAM与SEMES四家公司合计市场占有率达到90%以上，其中DNS市场份额最高，市场占有率在40%以上。据了解，目前，中国内地能提供半导体清洗设备的企业较少，主要包括盛美半导体、北方华创、芯源微及至纯科技。

    报告期内，盛美股份向前五名客户合计销售额占当期销售总额的比例分别为94.99%、92.49%和87.33%。公司表示，虽然公司的客户及产品结构日趋多元化，但在未来，少数大客户收入仍将在公司的营业收入中占据较高的比例。

    持续高研发投入

    研发方面，最近三年，公司研发投入金额分别为5217.24万元、7941.50万元和9926.80万元，呈现稳定上升趋势。研发费用占营业收入的比例分别为20.57%、14.43%和13.12%，保持在较高水平。

    截至2019年12月31日，盛美股份拥有技术研发人员150人，占公司员工人数的比例为41.90%。

    公司表示，为提升产品的市场竞争力，公司将持续重视研发，研发投入占营业收入的比重仍将保持在相对较高的水平。未来将根据自身发展情况，继续加大研发投入力度。

    据介绍，公司的兆声波单片清洗设备、单片槽式组合清洗设备及铜互连电镀工艺设备领域的技术水平达到国际领先或国际先进水平。

    截至2019年12月31日，公司及控股子公司拥有已获授予专利权的主要专利232项，其中境内授权专利108项，境外授权专利124项，其中发明专利共计227项，并获得“上海市集成电路先进湿法工艺设备重点实验室”称号；公司是“20-14nm铜互连镀铜设备研发与应用”和“65-45nm铜互连无应力抛光设备研发”等中国“02专项”重大科研项目的主要课题单位。

    公司所在的半导体专用设备行业属于技术密集型行业，具有较高的技术研发门槛。公司提示了技术更新的风险。公司表示，长期坚持差异化竞争和创新的发展战略，如果未来不能继续保持充足的研发投入，亦或芯片工艺节点继续缩小，再或芯片制造新技术的出现，都可能导致公司的SAPS、TEBO、Tahoe等核心技术及相关产品的先进程度下降，将可能对公司的经营业绩造成不利影响。

    背后股东星光熠熠

    本次闯关科创板，盛美股份拟募集18亿元，用于设备研发与制造中心项目、高端半导体设备研发项目和补充流动资金。公司选择第四套标准申请科创板上市，即预计市值不低于人民币30亿元，且最近一年营业收入不低于人民币3亿元。海通证券为其保荐人（主承销商），中金公司为联席主承销商。

    公司表示，集成电路设备行业技术门槛高，公司的技术水平与国际巨头仍有差距，需加快技术研发与产业化进程。本次募资投资项目将有助于快速提升公司的研发能力和综合竞争力，加快将公司建设成领先的综合性国际集成电路装备集团的进程，形成产业带动效应。

    公司控股股东美国ACMR为美国NASDAQ上市公司，最新市值为10.84亿美元，持有盛美股份91.67%的股权，并存在特殊表决权。招股书显示，美国ACMR为控股型公司，持有盛美半导体91.67%的股权和ACMResearch的100%股权，美国ACMR除持有上述公司股权外未实际从事其他业务。

    据了解，美国ACMR的股票分为A类股和B类股，每单位B类股享有20单位A类股的投票权。截至招股说明书签署日，王晖（HUIWANG）持有美国ACMR16.80万股A类股股票和114.69万股B类股股票，通过美国ACMR控制盛美股份91.67%的股权。王晖同时担任美国ACMR的董事长、首席执行官，也担任盛美股份董事长。

    值得一提的是，盛美股份背后的股东星光熠熠。据招股书披露，上海集成电路产投、浦东产投和张江科创投等知名机构于2019年11月入股盛美股份，增资持股比例分别为1.18%、1.18%和0.39%。当时的增资价格为13元/股。