国产光刻机取得重大突破 深市产业链公司迎来发展新机遇

    本报记者 毛艺融

    国产光刻机迎来重大进展。近日，工业和信息化部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。其中，在电子专用装备目录下，集成电路设备方面包括氟化氩光刻机和氟化氪光刻机。氟化氪光刻机显示为分辨率≤110nm、套刻≤25nm；氟化氩光刻机显示为分辨率≤65nm、套刻≤8nm。

    申万宏源证券认为，官方披露核心设备进展提振市场信心，国产光刻机相关产业链受益，国内晶圆厂扩产自主可控可期，国产半导体设备整体受益。

    受益于政策利好，半导体设备上市公司迎来机遇。以深圳证券交易所市场（以下简称“深市”）上市公司为例，同飞股份、凯美特气、奥普光电、新莱应材、蓝英装备、金力泰等均属于半导体领域的佼佼者。

    福晶科技是一家非线性光学晶体及激光晶体、精密光学元件和激光器件制造商。2024年半年报显示，公司瞄准中高端领域的激光器件市场，自主研发的声光器件、磁光器件、电光器件等器件类产品获得固体紫外激光器、光纤激光器、超快激光器客户的认可并实现批量供应，在声光产品与光隔离器领域取得显著突破，成功打破少数国外激光器件供应商的垄断格局。

    赛微电子是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺专业芯片晶圆制造商，其全球客户包括国际知名光刻机企业。公司2024年半年报显示，报告期内，公司积极开拓全球市场，并积极承接MEMS工艺开发及晶圆制造订单，持续服务于包括DNA/RNA测序、光刻机、硅光子、AI计算、ICT、红外热成像、计算机网络及系统、元宇宙、新型医疗设备等厂商以及通讯、生物医疗、工业汽车和消费电子等各细分领域的领先企业。

    凯美特气属于电子特气领域的“新星”。公司此前公告显示，2023年2月份公司光刻气产品取得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证函，意味着电子特气（激光混配气）有望切入国内及海外主流供应链。公司2024年半年报显示，目前公司已建立研发部门，掌握了多项气体方面的核心技术，通过各项激励措施确保研发核心团队稳定，通过不断完善研究开发机制与技术，促进技术发展的绿色化和可持续化。

    新莱应材在泛半导体等业务领域有所建树。“公司经过多年持续努力，无论在真空应用还是在UHP应用等级的管道、管件、阀门等产品被国内外客户广泛认可并大量使用。”新莱应材相关负责人在8月27日接受机构调研时表示，公司会抓住半导体产业链国产转移的契机，在半导体设备及厂务端零部件市场积极布局，预期未来该业务板块将保持高速增长。

    同飞股份致力于工业制冷设备的研发。公司在8月28日接受机构调研时表示，公司持续激发创新活力，重点聚焦储能、高端装备制造、电力电子、半导体制造、氢能、数据中心、新能源汽车（充换电）等核心产业方向展开深入研发，2024年上半年公司研发费用为4590.11万元，同比增长24.11%，占营业收入的5.74%。

    民生证券表示，海外半导体设备供给持续高增满足短期扩产需求，国产光刻机技术亦在持续突破，利好半导体设备自主可控的长期发展，继续看好国内晶圆厂的投资增长和国产半导体设备的国产化机遇。

（编辑 何帆）