万业企业回复问询函：集成电路前道装备业务获巨大突破

    本报记者 施露

    6月16日晚间，万业企业就上交所年报问询进行了回复，进一步说明公司向集成电路领域转型的实施情况及产品进展等内容。公告显示，国内一家重要的12英寸晶圆芯片制造厂与一家存储器芯片设计制造厂已对万业企业旗下凯世通集成电路离子注入设备启动认证程序，万业企业集成电路前道装备业务获得巨大突破。

    公告表示，鉴于目前国际形势，芯片国产化需求日益迫切，在国内集成电路制造厂尽可能采购国内设备的背景下，凯世通的集成电路低能大束流离子注入机在国内市场的需求正逐步放大。凯世通客户的上游企业（国内知名的芯片设计公司）、重要的12英寸晶圆芯片制造厂及存储器芯片设计制造厂正在对凯世通设备进行认证，并尽快投入工厂端的测试验证，助力凯世通尽快完成验证工作。一旦验证率先完成，将填补国内前道设备空白，为公司建立起更高的技术壁垒，提升公司行业竞争力，也将提升国内集成电路设备的国产化率，对国内集成电路产业战略发展也将有远大的意义。

    万业企业表示，公司已明确凯世通以集成电路离子注入机为发展重心，对其在集成电路领域的销售策略及生产安排也做了相应的优先调整，积极开拓其他业务合作伙伴，日前也已成功拓展台湾主要前道设备供应商，取得离子注入平台业务订单。未来有望为全球先进制程逻辑、存储、5G射频、摄像头CIS、功率半导体等不同应用领域芯片客户提供离子注入工艺服务，协同国内集成电路产业稳步前行。

    此外，凯世通新一代iPV6000光伏离子注入机首台设备已在公司组装完成初步调试即产品下线，目前已进入验证阶段，在客户工艺产线上进行调试，待设备在客户生产端环境下满足客户产能和质量等多项指标后，便可完成。目前凯世通已与一家光伏行业头部公司签署了试用订单，自主研发产品持续得到市场有效转化。

    万业企业通过全资并购凯世通成为国内唯一全领域离子注入机公司，产品覆盖到集成电路、光伏和AMOLED领域等。据了解，凯世通专研的离子注入在芯片制造前道工艺中是不可或缺的工艺，并且研发出的低能大束流离子注入机更是半导体制造中最为核心设备之一，其开发难度仅次于光刻机，存在较高的行业竞争壁垒。因此，万业企业在离子注入行业领域内具有绝对的领先优势地位。

（编辑 才山丹）