万业企业旗下嘉芯半导体尾气处理设备中标特色工艺生产线建设项目

    本报记者 施露

    据必联网5月23日发布的中标结果公告显示，万业企业旗下嘉芯迦能的双燃烧+双水洗尾气处理设备中标特色工艺生产线建设项目，中标数量为23台。

    据悉，自2022下半年开始，万业企业子公司嘉芯半导体多次中标多款设备，包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）以及快速热处理（RTP）等。

    万业企业持续支持国产设备的成长与研发，以自主研发与外延式并购双轮驱动战略布局半导体设备材料赛道。目前公司旗下的凯世通和嘉芯半导体已叠加形成多个半导体前道核心设备产品线，业务覆盖离子注入机、刻蚀机、薄膜沉积、快速热处理等多类设备。公司以国内独有的“1+N”半导体设备平台公司的多品类赛道，致力于推动中国集成电路产业的蝶变跃升。

（编辑 田冬）