江丰电子与秦川机床共建集成电路制造用超高纯金属溅射靶材高端装备协同创新中心

    本报记者 吴奕萱

    11月21日，江丰电子与秦川机床举行共建“集成电路制造用超高纯金属溅射靶材高端装备协同创新中心”签约仪式。江丰电子董事长兼首席技术官姚力军，秦川机床党委书记、董事长严鉴铂等双方企业领导出席签约仪式。

    江丰电子表示，秦川机床是公司最重要的战略合作伙伴和供应商之一，多年来向江丰电子供应了数百台机床设备，提供了可靠的产品和服务，有效保障了江丰电子的业务发展，同时也为我国超大规模集成电路产业的发展提供了有力的支撑。

    江丰电子还表示，本次合作将进一步加强双方联合攻关、协同创新的深度与广度，通过成立“秦川机床-江丰电子半导体靶材高端装备创新中心”，开展基础理论与核心技术研究、协同创新基地建设、协同创新队伍建设、创新型人才培养等工作，加快靶材装备技术高端制造技术突破，提升加工品质、效率，打造靶材高端制造装备共性技术研究与创新发展的国际化前沿阵地。

（编辑 田冬 上官梦露）