中国半导体光刻胶产业的“拓荒者”——记北京科华创始人陈昕

    53岁时你在做什么？北京科华创始人陈昕的决定是：创办一家研发先进半导体光刻胶的公司。

    2004年8月，陈昕回国创办了北京科华，计划用5年时间做到G/I线光刻胶的量产。陈昕没想到的是，遇到的困难远超她的预期和想象。“技术问题、人才问题，甚至所用设备的进口问题（系国内第一次进口），都冒了出来。”回忆起创业路，陈昕笑着说，每天从早上7点到晚上7点，她按照这样“雷打不动”的时间表工作了17年。

    17年来，陈昕带领团队创建了多个国内第一：实现了国内第一支G/I线光刻胶的量产；完成了国内首条KrF（248nm）光刻胶生产线的建设；开发出国内首支ArF（193nm）干法光刻胶样品等。

    对于放弃北京科华的控股权，选择与彤程新材合作，陈昕表示，科技耀中华，这是她创立北京科华的初心和使命。找她谈合作的上市公司有一打，但她最终选择与彤程新材合作，是因为感动于彤程新材董事长张宁的付出，钦佩于张宁的决断与奉献精神。

    一个女人的“出征”

    在中国半导体圈，陈昕是一个传奇——在53岁时创立了北京科华，并用10年的时间让北京科华实现了国内领先。

    “这不是某一刻的决定，在那之前，为推动中国半导体光刻胶产业发展，我已经跟国内企业合作了8年。”提及当初的创业，陈昕告诉记者，在创立科华之前，她在美国的半导体光刻胶公司工作。每年回国交流，都会认真给出发展先进半导体光刻胶的建议。

    但是，陈昕的建议如“泥牛入海”，让陈昕内心十分苦闷。“你说的事情要花很多钱，还要承担很多责任。”这样的反馈让陈昕意识到，自己对祖国光刻胶产业的梦想不能让别人负责。

    “你学了一门祖国需要的学问，这是幸运的。”妈妈的话给了陈昕莫大的鼓励，重新唤醒了她的梦想。陈昕决定，回国创办一家半导体光刻胶公司。2003年，陈昕与合作伙伴回国内调研，看到了国内微电子产业发展的好势头。2004年夏天，在和平里七区一间不到30平方米的小房子里，北京科华诞生了。

    陈昕的目标是：在国内创建一个具有国际水准的光刻胶企业，用5年时间帮助国内实现当时先进的G/I线光刻胶的产业化。为此，她倾尽所有，筹集了1000万美元启动资金。

    在投身到建厂工作时，陈昕才开始深刻理解当初她的合作伙伴为什么迟迟没有迈出建厂的脚步。

    “在厂房设计即将完成的时候，我们却被告知购置的土地不能使用了。”陈昕告诉记者，北京科华设立后，在通州购置了土地自建厂房，在被通知不能使用这块土地后，又辗转通过当时北京经信局的帮助协调，转战北京顺义的天竺保税区，可谓一波三折。除了土地，工厂的设备几乎都要进口，流程冗长、复杂；而且，国内工程师几乎都没有见过那些设备，更别提安装、使用。

    最终，原本计划12个月的建厂工作，北京科华花了足足30个月才完成，建厂费用也从预计的同类美国工厂的70%，上升到110%。

    相比这些困难，陈昕遇到的最大问题是“无人可用”。技术、人才、资金，是这个项目必备的三要素。“这个领域在国际上发展了30年，但国内大学连这个方向的教学都还没有，国内也没有什么像样的光刻胶公司，更别提成熟的专业技术人才，甚至成熟的工程建设人才。”陈昕的回忆略带苦涩。

    没有人才，陈昕就找到清华大学、中科院，利用暑期给学生做培训。之后，陈昕再联系美国原来的老同事，把这些学生送出去学习……

    终于，北京科华在磕磕碰碰中走到了量产。2009年5月8日，以建设“国内领先、国际一流”半导体光刻胶公司为宗旨的北京科华举行了剪彩仪式，宣告中国有了自己的G/I线光刻胶生产线。

    一众年轻人的激励

    回忆起自己的创业史，陈昕用得最多的字眼是“感动”。她说，能坚持到今天，是因为那些一起工作的年轻人感动着她、激励着她。科华的成功，是这些年轻人的成功。

    “你知道吗？我曾经一度做了逃兵，是这些年轻人又把我拉了回来。”陈昕笑着告诉记者一个“小插曲”：在花了6个月、10万美元完成厂房设计后，通州的土地却被收回了，她决定个人向合作伙伴赔付这笔钱然后结束项目。在阿拉斯加的游艇上，她收到员工的一条短信：在中国做光刻胶，是你自己的梦，也是大家的梦。大家都在为此努力，你没有权利放弃。这条短信让她感到非常惭愧和感动，她至今还保留着这条短信。

    按照陈昕的计划，在帮助国内实现G/I光刻胶的产业化后，她就退休。但是，随着产业发展，陈昕意识到，她和北京科华必须承担起KrF（248nm）先进光刻胶产业化的重任。

    在248nm光刻胶产线建设过程中，陈昕再度被一起工作的那些年轻人所感动。由于当时北京科华的体量有限，数亿元的投资成为公司亟待解决的问题。在最困难的时候，部分科华的员工抵押了自己的房产，来筹集资金帮助企业渡过难关。最终，在全体员工的努力下，北京科华终于完成了中国第一条高档光刻胶生产线的建设。Kempur（北京科华的英文名称）终于浮出水面，被世界所知晓。2013年，国际半导体产业协会（SEMI）主动将北京科华收录为会员。这意味着，国际上承认中国有半导体光刻胶产业了。

    “陈昕你好幸运，怎么会有这么好的年轻人为你工作！”每每这个时候，陈昕的合作伙伴都无比感慨。

    “等我退休了，我要写一本书，告诉全世界，这些年轻人有多么可爱，他们做了多么了不起的工作。”陈昕告诉记者，北京科华的成功不是她一个人的功劳，是这些年轻人作出了卓越的贡献。记者了解到，一直以来，科华的团队非常稳定，那些参与创业的80后，现在大部分都成为公司的骨干。

    “交棒”另一位追梦者

    “居然需要3亿元，真是疯了。”回忆起研发先进光刻胶的历程，陈昕印象深刻的是2010年申报KrF（248nm）光刻胶课题的事情。那时，人们不能理解研发光刻胶还需要购置昂贵的光刻机。而在2012年建成KrF（248nm）光刻胶生产线后，北京科华依然不被投资人看好。“估值2.12亿元，如果有人开得更高，你要多少我给多少。”彼时，某知名投资人曾这样对陈昕讲。

    有了KrF高档光刻胶是荣誉，更是压力，高昂的研发费用、漫长的晶圆厂验证周期，给北京科华的流动资金带来巨大压力。最艰难的时候，陈昕遇到了彤程新材的创始人、董事长张宁。

    “好人比有钱人更重要。”对于选择与彤程新材合作，陈昕说，科华在先进光刻胶领域站稳脚跟后，有十多家公司找上门来合作，最终她选择了彤程新材，是因为张宁让她感到安心。

    陈昕给记者讲了一件小事：有一位老师生病，因承担不起30万元的住院押金，老师的儿子无奈发起水滴筹，她捐了款并转发到了朋友圈。张宁看到后，就通过自己的基金会，帮这位老师缴纳了手术的全部费用。

    目前，通过受让股份及签署一致行动人协议，彤程新材旗下彤程电子直接持有北京科华56.56%的股权，合计持有北京科华超过70%的表决权。

    “北京科华与彤程新材合作，二者有机会共同成长为国际一流的电子材料公司。”对于放弃对北京科华的控股权，陈昕认为，彤程新材在精细化工方面的积累，有助于帮助北京科华解决树脂等原材料问题。更重要的是，在光刻胶上获得回报需要时间和耐心，张宁作为企业家，比自己这个科学家更适合掌管“帅印”。

    “我们每天都有新进展。”张宁告诉记者，从见到陈昕的那天起，她就知道，陈昕的光刻胶梦想也是自己的，科华将站在彤程新材的肩膀上，继续先进光刻胶的研发及产业化。在2021年半年报中，彤程新材披露，KrF（248nm）光刻胶产品放量、多个光刻胶树脂产品完成开发和认证……

    “交棒”张宁后，陈昕也没有闲着。除了继续KrF（248nm）、ArF（193nm）、EUV光刻胶研发及路线规划外，陈昕还想从更高的层面来促进国内半导体光刻胶产业发展——创建一个具有国际水准的研发中心，实现半导体光刻胶研发自动化、智能化。

    “做实验，一个人一个月做100次就不少了，但计算机一天可以完成1000次。”陈昕说，她对到2025年中国的先进光刻胶基本上可以满足国内集成电路产业发展需求充满信心，但新的趋势是，国际上已经开始用软件替代人力开展研发，她想给国内补上这一课。